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扩散硅压力变送器结构与工作原理是什么?

时间:2021-03-11 11:31:56

导读: 扩散硅压力变送器采用具有国际先进技术进口陶瓷传感器,再配以高精密电子元件,经严格要求的工艺过程装配而成。本文小编要给大家讲述的是它的结构组成以及它的工作原理是什么,希望大家通过阅读本篇文章能够对扩散硅压力变送器有更深层次的了解。

  扩散硅压力变送器采用具有国际先进技术进口陶瓷传感器,再配以高精密电子元件,经严格要求的工艺过程装配而成。本文小编要给大家讲述的是它的结构组成以及它的工作原理是什么,希望大家通过阅读本篇文章能够对扩散硅压力变送器有更深层次的了解。
  扩散硅压力变送器的结构组成:
  由于传感器的输出是非标准信号,因此在实际应用中,为了使传感器通用并便于信号传输和记录,传感器与标准信号输入电路配合使用以使其输出标准信号。此时,输出标准信号的传感器称为发送器。
  简而言之,发射器是从传感器逐渐发展而来的。本文研究的扩散硅压力变送器主要由MEMS传感器,测量膜盒和接口与处理电路(智能电路板)三大部分组成。
  压力传感器和二极管温度传感器一起包装在测量膜盒的顶部,膜盒体被两个密封法兰夹住,形成变送器的测量部分,该变送器负责将要测量的压力信号转换为工作现场变成电压信号。另外,电子电路板,液晶显示头和连接端子构成显示部分,其负责通过放大和两线信号处理将传感器输出的电压信号转换为4-20mA,然后输出标准电流信号。
  扩散硅压力变送器的工作原理:
  基于单晶硅的压阻效应,在硅片上按一定方向使用MEMS处理技术制成弹性元件,并通过集成电路技术在适当位置制作了四个电阻相等的力敏电阻。进入惠斯通电桥。恒定电压(电流)施加到电桥,并且测得的压力通过密封在测量盒中的硅油无损失地传输到硅芯片。变送器输出与被测压力成线性比例的电压信号,然后将该电压信号放大并通过电子电路转换为两线标准信号。
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